ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ НЕОДНОРОДНОГО СЛОЯ ТИТАНАТА БАРИЯ, ЛЕГИРОВАННОГО ЕВРООПИЕМ

Аннотация

Разработан алгоритм решения обратной задачи многоугловой спектрофотометрии неоднородной поглощающей пленки, основанный на полиномиальных представлениях плотности материала пленки и его комплексного коэффициента рефракции. Алгоритм применен для определения спектральных и пространственных распределений показателей преломления и поглощения пленки титаната бария, легированного европием. Пленка нанесена по золь-гель технологии на слой диоксида кремния, находящийся на кремниевой подложке. Корректность полученного решения проверена сравнением рассчитанных и измеренных спектров эллипсометрических углов и спектров отражательных способностей при нормальном падении света. Обнаружены уменьшение длины волны, соответствующей краю полосы собственного поглощения титаната бария, увеличение ширины запрещенной зоны материала неоднородного слоя и снижение концентрации европия по толщине слоя.