О возможности применения фторидных неодим-активированных кристаллов в качестве светоуправляемого затвора для излучения ArF - лазера (193 nm)

Аннотация

Сообщается об оптических свойствах кристаллов фторидов KY₃F₁₀:Nd³⁺, Na₃Y₆F₂₂:Nd³⁺, SrF₂:Nd³⁺ и CaF₂:Nd³  в УФ и ВУФ областях спектра. Спектры поглощения из основного - ⁴I_9/2 и из возбужденного - ⁴F_3/2 состояний зарегистрированы в диапазоне длин волн от 190 до 240 nm. Спектры поглощения из возбужденного состояния показывают существенное приращение коэффициентов поглощения исследованных образцов в области длин волн 193 nm при накачке ⁴F_3/2 состояний ионов Nd³⁺ ИК излучением. Полученные результаты демонстрируют возможность применения этих кристаллов в качестве оптических затворов для УФ и ВУФ диапазона, управляемых внешним лазерным ИК излучением, например, для излучения эксимерного ArF-лазера с длиной волны 193 nm, которое начало  применяться в технологии фотолитографии.