Спектроскопия тонких пленок оксида цинка вблизи края фундаментального поглощения

Вачаган Тигранович Аванесян; Павел Сергеевич Провоторов; Валерий Михайлович Стожаров; Максим Максимович Сычев; Александр Анатольевич Ерузин

Вачаган Тигранович Аванесян Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена
Павел Сергеевич Провоторов Российский государственный педагогический университет имени А. И. Герцена
Валерий Михайлович Стожаров Российский государственный педагогический университет имени А. И. Герцена
Максим Максимович Сычев СПбГТИ(ТУ)
Александр Анатольевич Ерузин ОАО «Радиотехкомплект»

Ключевые слова: Оксид цинка, ширина запрещенной зоны, Модель Тауца, энергия Урбаха

Аннотация

Представлены результаты исследования спектров оптического поглощения в тонких пленках оксида цинка ZnO, полученных методом реактивного катодного распыления. Наблюдаемое поглощение света в области энергий фотонов, меньших ширины запрещенной зоны, объясняется присутствием в запрещенной зоне хвостов плотности локальных состояний. Определены ширина запрещенной зоны и характеристическая энергия Урбаха. Установлено влияние особенностей структуры и примесного фактора на поведение полученных экспериментальных спектральных зависимостей.