ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК La:HfZrO ПО ДАННЫМ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ

Евгений Васильевич Спесивцев; Сергей Владимирович 3.	Рыхлицкий; Владимир Алексеевич 4.	Гриценко; Furgan Mehmood; Thomas Mikolajick; Uwe Schroeder

Евгений Васильевич Спесивцев ИФП СО РАН
Сергей Владимирович 3. Рыхлицкий ИФП СО РАН
Владимир Алексеевич 4. Гриценко ИФП СО РАН
Furgan Mehmood NaMLab gGmbH
Thomas Mikolajick NaMLab gGmbH
Uwe Schroeder NaMLab gGmbH

Ключевые слова: сегнетоэлектрик, показатель преломления, спектроэллипсометрия, теория эффективной среды.

Аннотация

В последнее время обнаружено наличие сегнетоэлектрических свойств наноразмерных пленок на основе оксида гафния. Такие пленки представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, которая сочетает преимущества оперативной и флэш памяти. В работе изучаются оптические свойства пленок оксида гафния, циркония, легированных лантаном La:HfZrO. Оптические свойства анализируются на основе теории эффективной среды.