ОБОБЩЕННАЯ НУЛЬ-ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ В СХЕМЕ «ПОЛЯРИЗАТОР-ОБРАЗЕЦ-АНАЛИЗАТОР»

Аннотация

Рассмотрена  «нуль-методика» обобщенной эллипсометрии с использованием  безкомпенсаторной схемы поляризатор‒образец‒анализатор при падении на анизотропную систему  s- или p-поляризованного света. Приведены аналитические выражения, связывающие измеряемую угловую величину — азимут анализатора в минимуме интенсивности детектируемого излучения  —  с элементами (2х2) анизотропной матрицы Джонса. Для определения оптико-геометрических параметров исследуемых анизотропных систем предлагается использовать зависимость этой  величины от ориентации (азимута) образца.  Оценена чувствительность метода. Установленоно, что она сравнима с чувствительностью схемы поляризатор‒компенсатор‒образец‒анализатор. Проведен сравнительный анализ данного метода с известным  фотометрическим методом обобщенной эллипсометрии в схеме поляризатор-образец-анализатор, основанным на измерении зависимости интенсивности отраженного света от азимута образца при фиксированных положениях поляризатора и анализатора.  Оценено, что для получения одинаковой чувствительности этих двух методов погрешности в одну угловую минуте в предлагаемом методе  соответствует относительная погрешность определения энергетического коэффициента отражения  0.05% в  фотометрическом методе обобщенной эллипсометрии.