ДИАГНОСТИКА ТЕХНОЛОГИИ ОКСИДОВ ТИТАНА И ГАФНИЯ МЕТОДАМИ ЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ
Ключевые слова:
вакансии кислорода, оксид титана, оксид гафния, фотолюминеценция
Аннотация
В статье показана роль вакансий кислорода в формировании полос люминесценции оксидов титана и гафния, а также продемонстрирована связь интенсивности полос люминесценции с условиями синтеза пленок этих материалов. Сделан вывод, что фотолюминесценция является очень чувствительным методом диагностики состава оксидов. Полосы люминеценции 2.45 eV в оксиде титана и 2.91 eV в оксиде гафния позволяют анализировать изменение состава пленок при различных технологических условиях их получения.
Опубликован
2023-01-14
Раздел
Статьи
