Катодолюминесценция собственных дефектов в пленках La:HfZrO
Аннотация
Нанометровые пленки твердого раствора оксида гафния и циркония, легированные лантаном (La:(HfZr)O2) представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, сочетающей неограниченное число циклов перепрограммирования оперативной памяти и энергонезависимость флеш памяти. Настоящая работа посвящена исследованиям катодолюминесцентных свойств тонких пленок La:HfZrO с различным содержанием лантана. Показано, что в спектрах катодолюминесценции доминируют две полосы излучения с максимумами интенсивности 2.7 и 2.2 эВ. Голубая полоса с энергией 2.7 эВ обусловлена вакансией кислорода в La:HfZrO. Исследование влияния примеси лантана и отжига образцов в аргоне позволяет предположить, что желтая полоса с максимумом излучения 2.2 эВ связана с дивакансией кислорода.
