THE GRAZING INCIDENCE REFLECTION COEFFICIENT MEASUREMENT WITH THE USAGE OF SINGLE CHANNEL SCHEME

Аннотация

    Измерение коэффициента отражения в скользящем падении является одним из основных методов для определения оптических констант материалов в диапазоне экстремального ультрафиолета. В настоящей работе описывается одноканальный метод такого измерения, в котором падающее и отражённое излучение, диспергированное в спектрометре скользящего падения, регистрируется одновременно при помощи CCD-матрицы. В работе предлагается алгоритм обработки спектрограмм, который основан на построении функции спектральной модуляции сигнала в спектре. Такой подход позволяет исключить влияние непрерывного спектрального фона на измеряемую величину коэффициента отражения. Разработанная методика была применена для обработки результатов эксперимента по измерению коэффициента отражения кремния при угле скольжения 5 градусов в спектральном диапазоне 8-25 nm. В качестве спектрального прибора использовался Quasi-Flat Field спектрометр, источник излучения — быстрый капиллярный разряд.